A pruduzzione di zolfu 6N (≥99.9999% di purezza) di purezza ultra-alta richiede una distillazione multi-stadio, un'adsorbimentu prufondu è una filtrazione ultra-pulita per eliminà i metalli in traccia, l'impurità organiche è e particelle. Quì sottu hè un prucessu à scala industriale chì integra a distillazione sottu vuoto, a purificazione assistita da microonde è e tecnulugie di post-trattamentu di precisione.
I. Pretrattamentu di materie prime è eliminazione di impurità
1. Selezzione di materie prime è pretrattamentu
- RequisitiPurità iniziale di zolfu ≥99,9% (gradu 3N), impurità metalliche totali ≤500 ppm, cuntenutu di carbone organicu ≤0,1%.
- Fusione assistita da microonde:
U zolfu grezzu hè trasfurmatu in un reattore à microonde (frequenza 2,45 GHz, putenza 10-15 kW) à 140-150 °C. A rotazione di dipolo indotta da microonde assicura una fusione rapida mentre decompone l'impurità organiche (per esempiu, cumposti di catrame). Tempu di fusione: 30-45 minuti; prufundità di penetrazione di e microonde: 10-15 cm - Lavaggio cù acqua deionizzata:
U zolfu fusu hè mischiatu cù acqua deionizzata (resistività ≥18 MΩ·cm) à un rapportu di massa di 1:0,3 in un reattore agitatu (120°C, pressione di 2 bar) per 1 ora per rimuovere i sali idrosolubili (per esempiu, sulfatu d'ammoniu, cloruru di sodiu). A fase acquosa hè decantata è riutilizzata per 2-3 cicli finu à chì a conducibilità sia ≤5 μS/cm.
2. Adsorbimentu è filtrazione à più stadi
- Adsorbimentu di Terra Diatomeica/Carbone Attivatu:
A terra di diatomee (0,5–1%) è u carbone attivatu (0,2–0,5%) sò aghjunti à u zolfu fusu sottu prutezzione di l'azotu (130°C, agitazione di 2 ore) per adsorbe i cumplessu metallichi è l'urgani residuali. - Filtrazione di Ultra-Precisione:
Filtrazione à dui stadi cù filtri sinterizzati in titaniu (dimensione di i pori di 0,1 μm) à una pressione di sistema ≤0,5 MPa. Conteggio di particelle post-filtrazione: ≤10 particelle/L (dimensione >0,5 μm).
II. Prucessu di distillazione à vuoto à più tappe
1. Distillazione primaria (rimozione di impurità metalliche)
- AttrezzaturaColonna di distillazione di quarzu d'alta purezza cù imballaggio strutturatu in acciaio inox 316L (≥15 piastre teoriche), vacuum ≤1 kPa.
- Parametri Operativi:
- Temperatura di l'alimentazione250–280°C (u zolfu bolle à 444,6°C sottu pressione ambiente; u vacuum riduce u puntu di ebullizione à 260–300°C).
- Rapportu di reflux5:1–8:1; fluttuazione di a temperatura di a cima di a colonna ≤±0,5°C.
- ProdottuPurità di zolfu condensatu ≥99,99% (gradu 4N), impurità metalliche totali (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
2. Distillazione Moleculare Secundaria (Rimozione di Impurità Organiche)
- AttrezzaturaDistillatore moleculare à percorsu cortu cù un spaziu di evaporazione-condensazione di 10-20 mm, temperatura di evaporazione 300-320 °C, vacuum ≤0,1 Pa.
- Separazione di l'impurità:
L'organichi à bassu puntu d'ebullizione (per esempiu, tioeteri, tiofene) sò vaporizzati è evacuati, mentre chì l'impurità à altu puntu d'ebullizione (per esempiu, poliaromatici) restanu in residui per via di e differenze in u percorsu liberu moleculare. - ProdottuPurità di zolfu ≥99,999% (gradu 5N), carbone organicu ≤0,001%, tasso di residui <0,3%.
3. Raffinazione di a Zona Terziaria (Raggiungimentu di a Purezza 6N)
- AttrezzaturaRaffinatore di zona orizzontale cù cuntrollu di temperatura multizona (±0,1 °C), velocità di muvimentu di zona 1-3 mm/h.
- Segregazione:
Utilizendu i coefficienti di segregazione (K = Csolid/CliquidK=Csolidu /Cliquidu), a zona 20-30 passa metalli cuncintrati (As, Sb) à a fine di u lingotto. L'ultimu 10-15% di u lingotto di zolfu hè scartatu.
III. Post-trattamentu è furmazione ultra-pulita
1. Estrazione di solvente ultrapura
- Estrazione di etere/tetracloruru di carbone:
U zolfu hè mischiatu cù etere di qualità cromatografica (rapportu di vulume 1: 0,5) sottu assistenza ultrasonica (40 kHz, 40 ° C) per 30 minuti per eliminà tracce di composti organici polari. - Recuperazione di solventi:
L'adsorzione à u setacciu moleculare è a distillazione à u vacuum riducenu i residui di solvente à ≤0,1 ppm.
2. Ultrafiltrazione è scambiu ionicu
- Ultrafiltrazione à membrana PTFE:
U zolfu fusu hè filtratu attraversu membrane di PTFE di 0,02 μm à 160–180 °C è pressione ≤0,2 MPa. - Resine à scambiu ionicu:
E resine chelanti (per esempiu, Amberlite IRC-748) eliminanu l'ioni metallichi à livellu ppb (Cu²⁺, Fe³⁺) à velocità di flussu di 1-2 BV/h.
3. Furmazione di un ambiente ultra pulitu
- Atomizazione di Gas Inerti:
In una camera bianca di Classe 10, u zolfu fusu hè atomizatu cù azotu (pressione 0,8-1,2 MPa) in granuli sferichi di 0,5-1 mm (umidità <0,001%). - Imballaggio à vuoto:
U pruduttu finale hè sigillatu à vuotu in una film cumposta d'aluminiu sottu argon ultra puru (purezza ≥99,9999%) per impedisce l'ossidazione.
IV. Parametri chjave di u prucessu
Fase di u prucessu | Temperatura (°C) | Pressione | Tempu/Velocità | Attrezzatura di basa |
Fusione à microonde | 140–150 | Ambiente | 30–45 minuti | Reattore à microonde |
Lavaggio cù acqua deionizzata | 120 | 2 barre | 1 ora/ciclu | Reattore agitatu |
Distillazione moleculare | 300–320 | ≤0,1 Pa | Continuu | Distillatore Moleculare à Corta Via |
Raffinazione di Zona | 115–120 | Ambiente | 1–3 mm/h | Raffinatore di Zona Orizzontale |
Ultrafiltrazione in PTFE | 160–180 | ≤0,2 MPa | Flussu di 1–2 m³/h | Filtru à alta temperatura |
Atomizazione di l'azotu | 160–180 | 0,8–1,2 MPa | granuli di 0,5–1 mm | Torre d'atomizazione |
V. Cuntrollu di qualità è testi
- Analisi di l'impurità di traccia:
- GD-MS (Spettrometria di Massa à Scarica Luminosa)Rileva i metalli à ≤0,01 ppb.
- Analizzatore di TOCMisura u carbone organicu ≤0,001 ppm.
- Cuntrollu di a dimensione di e particelle:
A diffrazione laser (Mastersizer 3000) assicura una deviazione D50 ≤±0,05 mm. - Pulizia di a superficia:
L'XPS (spettroscopia fotoelettronica à raggi X) cunfirma u spessore di l'ossidu superficiale ≤1 nm.
VI. Cuncepimentu di Sicurezza è Ambiente
- Prevenzione di l'esplosioni:
I rilevatori di fiamme à infrarossi è i sistemi di inundazione d'azotu mantenenu i livelli d'ossigenu <3% - Cuntrollu di l'Emissioni:
- Gasi acidiA purificazione di NaOH in duie tappe (20% + 10%) elimina ≥99,9% H₂S/SO₂.
- COVU rotore di zeolite + RTO (850 ° C) riduce l'idrocarburi non metanici à ≤10 mg / m³.
- Riciclaggio di rifiuti:
A riduzione à alta temperatura (1200 °C) recupera i metalli; cuntenutu di zolfu residuale <0,1%.
VII. Metriche Tecnu-Ecunomiche
- Cunsumu d'energia800-1200 kWh d'elettricità è 2-3 tunnellate di vapore per tonnellata di zolfu 6N.
- RendimentuRecuperazione di zolfu ≥85%, tasso di residui <1,5%.
- CostuCostu di pruduzzione ~120.000–180.000 CNY/tonna; prezzu di mercatu 250.000–350.000 CNY/tonna (gradu semiconduttore).
Stu prucessu produce zolfu 6N per fotoresistenze à semiconduttori, substrati cumposti III-V è altre applicazioni avanzate. U monitoraghju in tempu reale (per esempiu, l'analisi elementale LIBS) è a calibrazione ISO Classe 1 in sala bianca garantiscenu una qualità consistente.
Note à piè di pagina
- Riferimentu 2: Norme di Purificazione di Zolfu Industriale
- Riferimentu 3: Tecniche di Filtrazione Avanzate in Ingegneria Chimica
- Riferimentu 6: Manuale di Trasfurmazione di Materiali d'Alta Purezza
- Riferimentu 8: Protocolli di pruduzzione chimica di qualità semiconduttore
- Riferimentu 5: Ottimizazione di a distillazione à u vacuum
Data di publicazione: 02-04-2025